真空泵機組不能單獨使用，必須結合前級真空泵才能使用。根據不同的工藝要求和不同配置的前端泵，真空泵單位可由一個或多個真空泵和前級泵組成水平的多級真空泵機組。真空泵機組適用于吸入空氣和其他是凝固和無腐蝕性氣體，廣泛應用于大型抽水速和各種各樣的低真空和高真空系統。
為了保證真空泵機能夠安全工作，需要特別注意以下幾點：
1、使用前詳細閱讀說明書，熟練地掌握真空機組操作規程；
2、正確使用真空計，掌握其操作規程，若用熱偶真空計，注意熱偶不要燒壞；若用麥氏真空計，注意水銀液面緩緩上升；
3、真空泵機組運行時，禁止修理、清洗真空機組，以及給運動部件上螺釘；
4、真空泵啟動前，需檢查供水、供油、潤滑是否正常；
5、運動部件要有防護措施，以防其飛出來；
6、車間應配有滅火器、砂箱等滅火器材。
